近日，国内精密制造技术企业东信高科实现关键技术突破，其自主研发的专利雪花清洗+等离子清洗组合工艺，成功落地应用于TFF薄膜滤光片镀膜前精密清洗场景，成为国内首个系统化掌握该成套工艺的本土企业。此举标志着我国高端光学精密干式清洗领域正式摆脱海外技术依赖，实现核心设备与工艺的国产化自主可控，为400G/800G高速光通信、高像素消费光学产业升级提供核心工艺支撑。
作为光通信、智能终端光学系统的核心元器件，TFF滤光片的精度直接决定设备的信号传输质量与成像效果。在800G高速光模块、千万级像素智能手机普及的当下，行业对TFF滤光片的镀膜精度、稳定性、良品率要求持续攀升。镀膜前基片表面的微小颗粒、有机残留，都会造成膜层脱落、光学损耗超标、波长偏移等质量问题，长期以来，“彻底清污”与“保护精密基片”的矛盾，一直是困扰高端TFF滤光片量产的核心行业痛点。
过去数十年，全球高端光学精密雪花清洗市场长期由德国CryoSnow等海外品牌垄断，国内光电子企业高端镀膜前清洗设备完全依赖进口，不仅采购、运维成本高昂，核心工艺参数、设备迭代技术均受制于人，成为制约国内高端光学制造产业自主升级的“卡脖子”环节。同时，传统国产清洗工艺存在明显短板，湿式清洗残留高、易损伤精密结构，等离子清洗除颗粒能力不足，无法满足高端TFF滤光片的量产标准。
针对产业痛点与技术空白，东信高科依托二十余年精密等离子、干式清洗技术积淀，凭借自主核心专利“一种雪花喷头、清洗机及其应用方法”（CN119702602B），创新研发国产雪花清洗技术，并构建差异化组合工艺方案。该技术采用干式非接触式清洗模式，通过液态CO？相变生成微米级雪花颗粒，轻柔且高效地剥离基片表面各类污染物，清洗后无任何残留，不会损伤高精度光学基片，完美解决了传统工艺“清不干净、洗易损伤”的两难困境。
为适配全场景高端量产需求，东信高科进一步整合等离子清洗技术优势，形成互补协同的成套解决方案。单一雪花清洗擅长物理剥离各类颗粒物，等离子清洗专攻有机污染物分解与表面活化，双工艺结合可一次性清除TFF基片表面颗粒、有机物、微量残留等全维度污染物，全方位提升镀膜结合力与膜层均匀性。
产业化落地数据验证，该国产组合工艺可将高端TFF滤光片生产良率提升8%-12%，有效降低器件插入损耗与温漂误差，大幅提升光通信设备、高清光学镜头的运行稳定性。相较于进口设备方案，东信高科国产化方案不仅性能对标国际顶尖水平，还可降低超30%的综合生产成本，同时提供本土化快速运维、工艺定制服务，适配国内企业柔性量产需求。
业内人士表示，东信高科本次技术突破，不仅补齐了国内高端光学精密清洗的工艺短板，更打破了海外品牌的长期垄断，是我国光电子精密制造领域国产替代的重要里程碑。随着5.5G、800G光通信、AI智能光学终端产业快速发展，高精度光学元件需求持续爆发，自主可控的精密清洗工艺，将成为国内产业链升级的核心竞争力。
据悉，东信高科已完成全套设备量产与工艺标准化打磨，可面向光通信、消费光学、精密光电企业提供定制化清洗方案与免费工艺测试，助力行业降本增效、实现高端制造国产化升级。
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